Semitron™ MPR 1000 PAI shapes possess excellent heat resistance and low rates of outgassing and erosion in plasma chambers. This high purity material with low ionic content is often chosen for vacuum chamber applications within etch, CVD and ion implant sub-segmentations in the semiconductor and electronics industry.
Semitron™ MPR 1000 PAI shows increased lifetime over traditional materials, for example up to 25x over polyimide in ozone in some cases. Due to its longevity, it is specified against traditional materials used in vacuum chamber applications such as quartz, ceramics, polyimides and other engineering plastics.
物业
Low ionic content and low outgassing
Excellent heat resistance
Minimized rate of erosion in plasma chambers
Optimal chip resistance, durability and machinability
Designed specifically for demanding chamber applications
热性能
物业
价值
1.8 兆帕（264 磅/平方英寸）时的热变形温度 (ºC)
278
空气中的连续允许使用温度
260
可燃性（UL 等级）
V-0
机械性能
物业
价值
拉伸强度（兆帕）
99
拉伸弹性模量（兆帕）
6,050
1% 名义应变时的压缩应力（兆帕）
47
2% 名义应变时的压缩应力（兆帕）
79
5% 名义应变时的压缩应力（兆帕）
130
弯曲强度（兆帕）
夏比冲击缺口（千焦耳/平方米）
5.0
化学特性
物业
价值
热水/蒸汽
有限公司
弱酸
可以接受
强酸（pH 值 1-3）
有限公司
弱碱
有限公司
强碱（pH 值 11-14）
Not acceptable
碳氢化合物 - 芳香族化合物
可以接受
碳氢化合物 - 脂肪族
可以接受
酮类、酯类
可以接受
氯化溶剂
可以接受
酒精
可以接受
无机盐溶液
可以接受
电气性能
物业
价值
介电强度（千伏/毫米）
Industry Specific Usage (FOOD)
物业
价值
美国食品和药物管理局
不符合要求
EU
不符合要求
美国农业部
不符合要求
3A-SSI
不符合要求
VMX materials
不符合要求
Industry Specific Usage (MEDICAL)
物业
价值
ISO 10993-5 and USP <87>
不符合要求
ISO 10993-10 Sensitization
不符合要求
ISO 10993-10 (Intracutaneous Reactivity) and USP <88>
