Optimized for use in CMP retaining rings, Semitron™ CMP LL5 is a high-performance PET-P material with a superior wear life that is up to eight times greater than standard PPS when used in oxide chemistries. Its excellent wear and chemical resistance makes this specialty PET-P grade ideal for increasing the performance of CMP tools operating in temperatures up to 60°C (140°F).
物业
Long wearing material, 5x that of PPS
Best performance in oxide chemistries, 8x that of PPS
Ideal for CMP applications up to 60°C (140°F)
热性能
物业
价值
1.8 兆帕（264 磅/平方英寸）时的热变形温度 (ºC)
空气中的连续允许使用温度
100
可燃性（UL 等级）
HB
机械性能
物业
价值
拉伸强度（兆帕）
拉伸弹性模量（兆帕）
1% 名义应变时的压缩应力（兆帕）
2% 名义应变时的压缩应力（兆帕）
5% 名义应变时的压缩应力（兆帕）
弯曲强度（兆帕）
夏比冲击缺口（千焦耳/平方米）
化学特性
物业
价值
热水/蒸汽
有限公司
弱酸
可以接受
强酸（pH 值 1-3）
有限公司
弱碱
有限公司
强碱（pH 值 11-14）
Not acceptable
碳氢化合物 - 芳香族化合物
可以接受
碳氢化合物 - 脂肪族
可以接受
酮类、酯类
可以接受
氯化溶剂
有限公司
酒精
有限公司
无机盐溶液
可以接受
电气性能
物业
价值
介电强度（千伏/毫米）
Industry Specific Usage (FOOD)
物业
价值
美国食品和药物管理局
不符合要求
EU
不符合要求
美国农业部
不符合要求
3A-SSI
不符合要求
VMX materials
不符合要求
Industry Specific Usage (MEDICAL)
物业
价值
ISO 10993-5 and USP <87>
不符合要求
ISO 10993-10 Sensitization
不符合要求
ISO 10993-10 (Intracutaneous Reactivity) and USP <88>
