Semitron™ MPR 1000 PAI shapes possess excellent heat resistance and low rates of outgassing and erosion in plasma chambers. This high purity material with low ionic content is often chosen for vacuum chamber applications within etch, CVD and ion implant sub-segmentations in the semiconductor and electronics industry.
Semitron™ MPR 1000 PAI shows increased lifetime over traditional materials, for example up to 25x over polyimide in ozone in some cases. Due to its longevity, it is specified against traditional materials used in vacuum chamber applications such as quartz, ceramics, polyimides and other engineering plastics.
FASTIGHETER
Low ionic content and low outgassing
Excellent heat resistance
Minimized rate of erosion in plasma chambers
Optimal chip resistance, durability and machinability
Designed specifically for demanding chamber applications
Termiska egenskaper
Fastighet
Värde
Värme Avböjningstemperatur vid 1,8 MPa (264 psi) (ºC)
278
Kontinuerlig tillåten driftstemperatur i luft
260
Brandfarlighet (UL-klassning)
V-0
Mekaniska egenskaper
Fastighet
Värde
Draghållfasthet (MPa)
99
Elasticitetsmodul för drag (MPa)
6,050
Tryckspänning vid 1% nominell töjning (MPa)
47
Tryckspänning vid 2% nominell töjning (MPa)
79
Tryckspänning vid 5% nominell töjning (MPa)
130
Böjhållfasthet (MPa)
Charpy-slag i skåran (kJ/m²)
5.0
Kemiska egenskaper
Fastighet
Värde
Varmvatten / ånga
Begränsad
Syror, svaga
Godtagbar
Syror, starka (pH 1-3)
Begränsad
Alkalier, svaga
Begränsad
Alkalier, starka (pH 11-14)
Ej godtagbart
Kolväten - Aromatiska
Godtagbar
Kolväten - alifatiska
Godtagbar
Ketoner, estrar
Godtagbar
Klorerade lösningsmedel
Godtagbar
Alkoholer
Godtagbar
Oorganiska saltlösningar
Godtagbar
Elektriska egenskaper
Fastighet
Värde
Dielektrisk hållfasthet (kV/mm)
Industry Specific Usage (FOOD)
Fastighet
Värde
FDA
Uppfyller inte kraven
EU
Uppfyller inte kraven
USDA
Uppfyller inte kraven
3A-SSI
Uppfyller inte kraven
VMX materials
Uppfyller inte kraven
Industry Specific Usage (MEDICAL)
Fastighet
Värde
ISO 10993-5 and USP <87>
Uppfyller inte kraven
ISO 10993-10 Sensitization
Uppfyller inte kraven
ISO 10993-10 (Intracutaneous Reactivity) and USP <88>
Uppfyller inte kraven
ISO 10993-11 and USP <88>
Uppfyller inte kraven
USP <88> (Implant)
Uppfyller inte kraven
ISO-10993-4
Uppfyller inte kraven
USP <661>
Uppfyller inte kraven
USP Class VI
Uppfyller inte kraven
AFO - Animal Free Origin
Uppfyller inte kraven
Industry Specific Usage (RECYCLED)
Fastighet
Värde
Statera™ portfolio
Uppfyller inte kraven
Industry Specific Usage (NUCLEAR)
Fastighet
Värde
Shielding Portfolio
Uppfyller inte kraven
PMUC certified
Uppfyller inte kraven
Industry Specific Usage (SEMICON)
Fastighet
Värde
ESd materials
Uppfyller inte kraven
Conductive materials
Uppfyller inte kraven
Diverse fastigheter
Fastighet
Värde
Basmaterial
PAI
Varumärke Familj
Färger
Yellow-brown
Densitet (g/cm3)
1.47
Vattenabsorption efter 24 timmars nedsänkning i vatten (%)
