Semitron™ MPR 1000 PAI shapes possess excellent heat resistance and low rates of outgassing and erosion in plasma chambers. This high purity material with low ionic content is often chosen for vacuum chamber applications within etch, CVD and ion implant sub-segmentations in the semiconductor and electronics industry.

Semitron™ MPR 1000 PAI shows increased lifetime over traditional materials, for example up to 25x over polyimide in ozone in some cases. Due to its longevity, it is specified against traditional materials used in vacuum chamber applications such as quartz, ceramics, polyimides and other engineering plastics.

EIGENSCHAPPEN

---

• Low ionic content and low outgassing
• Excellent heat resistance
• Minimized rate of erosion in plasma chambers
• Optimal chip resistance, durability and machinability
• Designed specifically for demanding chamber applications

Thermische eigenschappen

Eigendom	Waarde
Warmteafbuigingstemperatuur bij 1,8MPa (264 psi) (ºC)	278
Continu toelaatbare bedrijfstemperatuur in lucht	260
Ontvlambaarheid (UL-classificatie)	V-0

---

Mechanische eigenschappen

Eigendom	Waarde
Treksterkte (MPa)	99
Elasticiteitsmodulus (MPa)	6,050
Drukspanning bij 1% nominale rek (MPa)	47
Drukspanning bij 2% nominale rek (MPa)	79
Drukspanning bij 5% nominale rek (MPa)	130
Buigsterkte (MPa)
Charpy Ingeslagen Impact (kJ/m²)	5.0

---

Chemische eigenschappen

Eigendom	Waarde
Heet water / stoom	Beperkt
Zuren, Zwak	Aanvaardbaar
Zuren, sterk (pH 1-3)	Beperkt
Alkaliën, Zwak	Beperkt
Alkaliën, sterk (pH 11-14)	Niet acceptabel
Koolwaterstoffen - Aromatische	Aanvaardbaar
Koolwaterstoffen - Alifatische	Aanvaardbaar
Ketonen, Esters	Aanvaardbaar
Gechloreerde oplosmiddelen	Aanvaardbaar
Alcoholen	Aanvaardbaar
Anorganische zoutoplossingen	Aanvaardbaar

---

Elektrische eigenschappen

Eigendom	Waarde
Diëlektrische sterkte (kV/mm)

---

Industrieel gebruik (VOEDSEL)

Eigendom	Waarde
FDA	Niet in overeenstemming
EU	Niet in overeenstemming
USDA	Niet in overeenstemming
3A-SSI	Niet in overeenstemming
VMX-materialen	Niet in overeenstemming

---

Specifiek industrieel gebruik (MEDISCH)

Eigendom	Waarde
ISO 10993-5 en USP .	Niet in overeenstemming
ISO 10993-10 Sensibilisatie	Niet in overeenstemming
ISO 10993-10 (intracutane reactiviteit) en USP .	Niet in overeenstemming
ISO 10993-11 en USP .	Niet in overeenstemming
USP (implantaat)	Niet in overeenstemming
ISO-10993-4	Niet in overeenstemming
USP	Niet in overeenstemming
USP klasse VI	Niet in overeenstemming
AFO - Diervrije Oorsprong	Niet in overeenstemming

---

Specifiek industrieel gebruik (RECYCLED)

Eigendom	Waarde
Statera™ portfolio	Niet in overeenstemming

---

Specifiek industrieel gebruik (NUCLEAR)

Eigendom	Waarde
Afscherming Portfolio	Niet in overeenstemming
PMUC gecertificeerd	Niet in overeenstemming

---

Industrieel gebruik (SEMICON)

Eigendom	Waarde
ESd-materialen	Niet in overeenstemming
Geleidende materialen	Niet in overeenstemming

---

Diverse eigenschappen

Eigendom	Waarde
Basismateriaal	PAI
Merk Familie
Kleuren	Yellow-brown
Dichtheid (g/cm3)	1.47
Waterabsorptie na 24 uur onderdompeling in water (%)	0.28
Waterabsorptie bij verzadiging in water (%)	3.4
Slijtagefactor (µm/km)
Beschikbare vormen	Plate Rod
Hoofdgebruik Dragend en/of structureel	Structureel