Semitron™ MPR 1000 PAI shapes possess excellent heat resistance and low rates of outgassing and erosion in plasma chambers. This high purity material with low ionic content is often chosen for vacuum chamber applications within etch, CVD and ion implant sub-segmentations in the semiconductor and electronics industry.
Semitron™ MPR 1000 PAI shows increased lifetime over traditional materials, for example up to 25x over polyimide in ozone in some cases. Due to its longevity, it is specified against traditional materials used in vacuum chamber applications such as quartz, ceramics, polyimides and other engineering plastics.
EIGENSCHAPPEN
Low ionic content and low outgassing
Excellent heat resistance
Minimized rate of erosion in plasma chambers
Optimal chip resistance, durability and machinability
Designed specifically for demanding chamber applications
Thermische eigenschappen
Eigendom
Waarde
Warmteafbuigingstemperatuur bij 1,8MPa (264 psi) (ºC)
278
Continu toelaatbare bedrijfstemperatuur in lucht
260
Mechanische eigenschappen
Eigendom
Waarde
Treksterkte (MPa)
99
Elasticiteitsmodulus (MPa)
6,050
Drukspanning bij 1% nominale rek (MPa)
47
Drukspanning bij 2% nominale rek (MPa)
79
Drukspanning bij 5% nominale rek (MPa)
130
Buigsterkte (MPa)
Charpy Ingeslagen Impact (kJ/m²)
5.0
Chemische eigenschappen
Eigendom
Waarde
Heet water / stoom
Beperkt
Zuren, Zwak
Aanvaardbaar
Zuren, sterk (pH 1-3)
Beperkt
Alkaliën, Zwak
Beperkt
Alkaliën, sterk (pH 11-14)
Not acceptable
Koolwaterstoffen - Aromatische
Aanvaardbaar
Koolwaterstoffen - Alifatische
Aanvaardbaar
Ketonen, Esters
Aanvaardbaar
Gechloreerde oplosmiddelen
Aanvaardbaar
Alcoholen
Aanvaardbaar
Anorganische zoutoplossingen
Aanvaardbaar
Elektrische eigenschappen
Eigendom
Waarde
Diëlektrische sterkte (kV/mm)
Certificeringseigenschappen
Eigendom
Waarde
FDA
Niet in overeenstemming
Europese voedselgoedkeuring
Niet in overeenstemming
NSF
Niet in overeenstemming
3A-SSI
Niet in overeenstemming
Canada AG
USDA
Niet in overeenstemming
Ontvlambaarheid (UL-classificatie)
V-0
Medisch gebruik
Diverse eigenschappen
Eigendom
Waarde
Basismateriaal
PAI
Merk Familie
Kleuren
Yellow-brown
Dichtheid (g/cm3)
1.47
Waterabsorptie na 24 uur onderdompeling in water (%)
