Optimized for use in CMP retaining rings, Semitron™ CMP LL5 is a high-performance PET-P material with a superior wear life that is up to eight times greater than standard PPS when used in oxide chemistries. Its excellent wear and chemical resistance makes this specialty PET-P grade ideal for increasing the performance of CMP tools operating in temperatures up to 60°C (140°F).
מאפיינים
Long wearing material, 5x that of PPS
Best performance in oxide chemistries, 8x that of PPS
Ideal for CMP applications up to 60°C (140°F)
תכונות תרמיות
נכס
ערך
טמפרטורת עיוות בחום בלחץ של 1.8 מגה-פסקל (264 psi) (ºC)
טמפרטורת הפעלה מותרת רציפה באוויר
100
דליקות (דירוג UL)
HB
תכונות מכניות
נכס
ערך
חוזק מתיחה (MPa)
מודול האלסטיות במתיחה (MPa)
מתח דחיסה בעיוות נומינלי של 1% (MPa)
מתח דחיסה בעיוות נומינלי של 2% (MPa)
מתח דחיסה בעיוות נומינלי של 5% (MPa)
חוזק לכפיפה (MPa)
עמידות בפני פגיעה בשיטת צ'רפי עם חריץ (קג'/מ"ר)
תכונות כימיות
נכס
ערך
מים חמים / אדים
מוגבל
חומצות, חלשות
מקובל
חומצות חזקות (pH 1-3)
מוגבל
בסיסים חלשים
מוגבל
בסיסים חזקים (pH 11–14)
לא מקובל
פחמימנים - ארומטיים
מקובל
פחמימנים - אליפטיים
מקובל
קטונים, אסטרים
מקובל
ממסים כלוריים
מוגבל
אלכוהולים
מוגבל
תמיסות מלח אנאורגניות
מקובל
תכונות חשמליות
נכס
ערך
חוזק דיאלקטרי (קילו-וולט/מ"מ)
Industry Specific Usage (FOOD)
נכס
ערך
מנהל המזון והתרופות האמריקאי
לא תואם
EU
לא תואם
משרד החקלאות של ארצות הברית
לא תואם
3A-SSI
לא תואם
VMX materials
לא תואם
Industry Specific Usage (MEDICAL)
נכס
ערך
ISO 10993-5 and USP <87>
לא תואם
ISO 10993-10 Sensitization
לא תואם
ISO 10993-10 (Intracutaneous Reactivity) and USP <88>
