Semitron™ MPR 1000 PAI shapes possess excellent heat resistance and low rates of outgassing and erosion in plasma chambers. This high purity material with low ionic content is often chosen for vacuum chamber applications within etch, CVD and ion implant sub-segmentations in the semiconductor and electronics industry.
Semitron™ MPR 1000 PAI shows increased lifetime over traditional materials, for example up to 25x over polyimide in ozone in some cases. Due to its longevity, it is specified against traditional materials used in vacuum chamber applications such as quartz, ceramics, polyimides and other engineering plastics.
מאפיינים
Low ionic content and low outgassing
Excellent heat resistance
Minimized rate of erosion in plasma chambers
Optimal chip resistance, durability and machinability
Designed specifically for demanding chamber applications
תכונות תרמיות
נכס
ערך
טמפרטורת עיוות בחום בלחץ של 1.8 מגה-פסקל (264 psi) (ºC)
278
טמפרטורת הפעלה מותרת רציפה באוויר
260
דליקות (דירוג UL)
V-0
תכונות מכניות
נכס
ערך
חוזק מתיחה (MPa)
99
מודול האלסטיות במתיחה (MPa)
6,050
מתח דחיסה בעיוות נומינלי של 1% (MPa)
47
מתח דחיסה בעיוות נומינלי של 2% (MPa)
79
מתח דחיסה בעיוות נומינלי של 5% (MPa)
130
חוזק לכפיפה (MPa)
עמידות בפני פגיעה בשיטת צ'רפי עם חריץ (קג'/מ"ר)
5.0
תכונות כימיות
נכס
ערך
מים חמים / אדים
מוגבל
חומצות, חלשות
מקובל
חומצות חזקות (pH 1-3)
מוגבל
בסיסים חלשים
מוגבל
בסיסים חזקים (pH 11–14)
לא מקובל
פחמימנים - ארומטיים
מקובל
פחמימנים - אליפטיים
מקובל
קטונים, אסטרים
מקובל
ממסים כלוריים
מקובל
אלכוהולים
מקובל
תמיסות מלח אנאורגניות
מקובל
תכונות חשמליות
נכס
ערך
חוזק דיאלקטרי (קילו-וולט/מ"מ)
Industry Specific Usage (FOOD)
נכס
ערך
מנהל המזון והתרופות האמריקאי
לא תואם
EU
לא תואם
משרד החקלאות של ארצות הברית
לא תואם
3A-SSI
לא תואם
VMX materials
לא תואם
Industry Specific Usage (MEDICAL)
נכס
ערך
ISO 10993-5 and USP <87>
לא תואם
ISO 10993-10 Sensitization
לא תואם
ISO 10993-10 (Intracutaneous Reactivity) and USP <88>
